19世纪，科学家开始研究紫外线消毒的原理和应用，可是当时（紫外线消毒器）的研究和应用很大程度上受限于紫外线灯、镇流器、紫外线传感器等紫外线消毒硬件设施的生产技术。

       1904年，发明了第一支石英材质的紫外线灯。接着1906年，石英开始出现大量被用于通过紫外灯的生产和研究工作领域，1910年以后，紫外线消毒系统（紫外线消毒器）开始被美国、法国等国家开始运用于城市生活给水的灭菌消毒。

       二十世纪三十年代，紫外线消毒的研究和应用出现低谷，那是由于紫外线杀菌灯的寿命、紫外线消毒器设备的消毒效率以及投入成本问题影响的。1938年，第一支气体放电紫外线灯管被一家美国公司发明了，到了1940年代，紫外线杀菌灯和镇流器的制造进一步完善，从那时起，紫外线消毒（紫外线消毒器）技术发展迅速。

       二十世纪五十至九十年代，城市给水消毒紫外线消毒器技术再次受到重视。在此期间，紫外线灯相关系统设备的生产技术得到了很大的提升。许多企业开始涉猎紫外线消毒器生产、安装及配套服务，被欧洲国家广泛应用于城市供水消毒。二十世纪九十年代末，欧洲国家制定颁布了一些关于供水紫外线消毒（紫外线消毒器）的标准和法规。

       经过100多年的发展，紫外线消毒器广泛应用于自来水、饮用水、工业用水及各种污水的灭菌。我国的紫外线消毒（紫外线消毒器）产业基本上是从1990年底开始从国外引进而发展的。